クッション性が良く安定的に搬送できます！ウェハ搬送ワゴンのご紹介
ウェハ搬送ワゴン W-8 特許取得製品
クッション性が良く、安定的に搬送！ 載置作業性が抜群！
静電・耐震対策も充分に考慮！ クリーン環境を乱さない！
コンパクトに収納！ ウェハの歩留りが向上！
防振性能の高いウェハ搬送ワゴンです。
シリコン防振材とウレタンゴムキャスター で、
グレーチング上でも安定した走行が可能です。
N字型脚構造により、未使用時はコンパクトに収納できます！
【仕 様】
写真は8インチ用保護ボックスです。
外形寸法：W640×D350×H1120mm （補助載置台取付時：W930）
本体材質：SUS304 本体重量：13kg
※保護用ボックスは商品に含まれません。
※6インチ・12インチなどの保護用ボックス搬送ワゴンも製作可能です。
各部位について
①補助用載置台
必要に応じて載置台としてボックスを収納できます。
②シリコンゲル状防振材
搬送時の振動や衝撃がウェハに伝わりにくく、防振の働きをし安定的に搬送します。
③ガイドブロック
導電性超高分子量ポリエチレンを使用し、載置台の上下移動をスムーズに。発塵を防止！
④載置台（平行棒）
保護用ボックスを載置台に載せると、傾斜に沿って背面バーまで滑って移動し、3点支持となり安定。
支持点は重心が低くなるよう工夫され耐震性抜群です。
保護用ボックスは最多9個の載置が可能です。
⑤U字型支持具
静電対策にU字型ウレタンゴムを使用。摩擦による発塵を抑制し、防音とクッション性に配慮。
⑥ステンレスの丸・角棒材で構成
エアーの流れを遮らず、また保護用ボックスとの接触面も小さく、発塵を抑制し、付着や滞留を防止。
軽量で扱いやすく、走行性も抜群！
⑦N字型脚
ワゴンを使用しないときは、重ね合わせができる為、コンパクトに収納できます。
⑧無柱設計
前方に縦柱がなく、載置作業性がしやすい！
⑨キャスター
φ100車幅32mm 幅広ウレタンゴムキャスターを使用。 グレーチング上の走行も安定的で、発塵も抑制。
ブレーキは安定静止に配慮し、車輪の回転と取付部旋回を同時にロック。
製 作 事 例
6インチウェハ搬送ワゴン
・W705×D350×H992
・バインダー 1ヶ所
緩衝器付キャスター
・φ100帯電防止性ウレタン
・衝撃・振動・発塵を1/10に低減
載置台（平行棒）
・外掛けタイプ
・内寸を有効に使い、かつ外れにくくなっています。
載置台（平行棒）
・内掛けタイプ
・ボックスの摩擦の軽減にPEスパイラルチューブを巻いたタイプです。
倒壊防止具
・耐震対策に壁面に取り付け、ワゴンを安定支持。（取り付ける場所によって特別製作します。）
6・12インチなどの保護用ボックス搬送ワゴンも製作可能です。
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