クリーンブース
多様なクリーンブースを高性能・低価格・短納期で！
カーテンブース
パネルブース
断熱パネルブース
| サイズ | 一人作業用の小型から、100m3以上の大型サイズまで自由に選定できます。 |
|---|---|
| 清浄度 | 清浄度はクラス100～100,000まで任意に対応します。 （清浄度についてはクリーンルームの規格を参照） |
| 形状 |
設置する環境により、様々な形状のものを製作可能です。 |
| 仕様 |
あらゆるニーズに的確にお応えします。 装置カバーブース ／ 遮蔽ブース ／ 暗室ブース など |
| 天井 | アルミ複合板、帯電防止塩ビ、帯電防止ビニール、ステンレス板など、目的に応じて選択できます。 |
|---|---|
| フィルター | クリーンエアーを作り出すHEPAフィルター、ULPAフィルター、ケミカルフィルターなど、目標の清浄度クラスと環境にあわせて選択できます。 |
| フレーム | オリジナル成型のアルミフレーム、ステンレスフレームを使用し、フレキシブルな設計・施工が可能です。 |
| 帯電防止 カーテン |
帯電防止、難燃性に優れたビニールシートで、使用環境により遮光、紫外線カット（フッ素系）、抗菌・防虫効果のあるシートも選択できます。 |
クリーンルーム
半導体・液晶・電子部品・光学・食品・医薬品など、様々なクリーン環境を創造
クリーンブースよりハイレベルなクリーン環境の実現には、クリーンルームをおすすめします。
クリーンルームとは？
空気中の塵埃、微生物などがフィルターにより除去された、空気清浄度（クリーン度）の確保された部屋のことです。
近年は、クリーンルームの建設・維持に多くの費用がかかることから、小規模空間を局所的にクリーンにできるクリーンブースを導入されるユーザー様も多くなっています。
クリーンルームの定義
クリーンルームとは、「コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中のおける浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄が保持され、必要に応じて、温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間。」 （ＪＩＳ Ｚ 8122（コンタミネーションコントロール用語）より抜粋
コンタミネーションコントロール（清浄度管理）
コンタミネーションコントロールとは、「清浄度管理ともいい、限られた空間、及び製品などの内部、表面または周辺について、要求される清浄状態を保持するためのあらゆる事柄について計画を立て、組織し、実施することをいう。」
クリーンルームの規格
クリーンルームの清浄度 ▼空気のキレイさとは？
私たちの日常生活空間における空気中には、非常に多くの不純物が浮遊しています。分かりやすい例を挙げますと、スマートフォンの液晶保護シートを貼る際、埃が挟まってしまった…という経験はありませんか？もちろん、肉眼で見えるホコリだけでなく、花粉や細菌なども含めた「微粒子」がたくさん浮遊しているのです。
こうした微粒子が浮遊している量に応じて、空気のキレイさは決められています。
しかし、現在の日本国内において、清浄度の規格は統一されていません。以下に代表的な規格をご紹介します。
ISO規格／ISO14644-1 （JIS規格／JIS B 9920）
JIS規格 JIS B 9920は、『クリーンルームの空気清浄度の評価方法』といい、1975年に制定されました。
その後、ISO14644-1「空気清浄度クラス」、ISO14644-2「清浄度クラスを維持するためのテストとモニタリング」のISO基準が2000年に制定されました。これらの基準をもとに、JIS B 9920が2002年に見直され、同等の規格となりました。
１m3中に存在する直径0.1μm以上の粒子数が基準になっています。
粒子数を10の累乗で表したときの指数で表します（表示：クラス1～9）。
※例えば立方メートル内に直径0.1µmの浮遊粒子が1,000個あったとすると、1,000＝10の3乗なのでクラス3になります。
※クラス5～8は、米国連邦規格／FED-STD-209Dの100、1,000、10,000、100,000に相当します。
米国連邦規格／FED-STD-209D（Federal Standard 209D）※2000年廃止
〔弊社使用〕
1ft3（立法フィート）中に存在する直径0.5μm以上の粒子数が基準になっています。v （1フィート≒0.3048メートル 1立方フィート≒28.3リットル）
表示：クラス1～100,000
2000年には廃止されていますが、現在でも一般的に用いられている規格です。
米国連邦規格／FED-STD-209E（Federal Standard 209E）※2001年廃止
単位は、メートル法（IS単位）を基本としていますが、英国単位（FS単位）を併記します。
1m3中に存在する直径0.5μm以上の粒子数を10のx乗個で表し、xの値をクラスとします。この時メートル法を採用していることを明確にするため、クラスＭxと表記します。 表示：クラスＭ１～Ｍ７
※例えば立方メートル内に直径0.5µmの浮遊粒子の数が1,000個であったとすると、1,000＝10の3乗なのでクラス3になります。この時メートル法を採用していることを明確にするため、クラスＭ3と表記します。
クリーンルームの基本原則
クリーンルームの4原則
クリーンルームには、清浄度維持に必要な4つの基本原則があります。
| 微粒子を持ち込まない |
|---|
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| 発生した微粒子を速やかに排除する |
|---|
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| 微粒子を発生させない |
|---|
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| 微粒子を堆積させない |
|---|
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クリーンルームの対象分野と所要清浄度※あくまで一例です。
産業別の清浄度 分類表
| 産業分野 | 適用内容 | 清浄度 クラス |
|---|---|---|
| 半導体工業 | 集積回路・エッチング・蒸着・研磨 | 1～100 |
| 光学機器 | レンズ・カメラ・レーザー | 100～10,000 |
| 時計・精密機器 | 時計・ロケット用部品・ミニチュアベアリング | 100～10,000 |
| 電子部品 | プリント基板・ディスク・コンデンサ・小型リレー | 100～10,000 |
| 病院 | 手術室・ICU・検査室 | 1,000～100,000 |
| 食品工業 | 乳製品・醸造品・食肉加工 | 1,000～10,000 |
使用目的によるクリーンルームの分類
ICR・BCR
クリーンルームは使用目的により、ICR と BCR に分類されます。
| ICR Industrial Clean Room |
BCR Biological Clean Room |
|---|---|
| 工業用クリーンルーム 塵埃を除去する無塵室です。 |
バイオクリーンルーム 塵埃を除去し、さらに微生物や細菌の除去を目的とする無菌室です。 |
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電気・電子機器 |
医療機器 医薬品 食品 実験動物施設 バイオハザード防止施設 園芸農薬 など |
空気中の微粒子とフィルターの適用範囲
