クリーンブースとは？特注設計施工【半導体工場の防爆・耐薬品対応 AIサーバーデータセンター対応】

クリーンブースとは

クリーンブースとは、クリーンルーム内や一般環境の一部分を間仕切り、高性能のHEPAフィルターを通してホコリや微生物などの異物を除去したクリーンな空気を送り込むことで、局所的にクリーンな環境を作り出すための設備です。

 

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伸榮産業のクリーンブース

自由度の高いオーダーメイド対応

当社のクリーンブースは、現場の環境・レイアウトなどご要望に合わせたオーダーメイドに対応します。
クリーン化・環境改善はもちろん、温湿度制御・特殊環境試験室・作業者の安全対策など豊富な経験とノウハウでご提案します。

サイズ	一人作業用の小型から100㎥以上の大型サイズまで 任意に対応します。
清浄度	クラス100〜100,000まで（ISO規格：5〜8） ※設置場所の周囲環境によりクラス100は得られない場合もあります。
天井	アルミ複合板、帯電防止塩ビ、帯電防止ビニール、ステンレス板など、 目的に応じて選択できます。
フィルター	クリーンエアーを作り出すHEPAフィルター、ULPAフィルター、ケミカルフィルターなど、 目標の清浄度クラスと環境にあわせて選択できます。
フレーム	オリジナル成型のアルミフレーム、ステンレスフレームを使用し、 フレキシブルな設計・施工が可能です。
帯電防止カーテン	帯電防止、難燃性に優れたビニールシートで、使用環境により遮光、紫外線カット（フッ素系）、 抗菌・防虫効果のあるシートも選択できます。

半導体をはじめとする多様な業種の工程課題を解決

半導体をはじめとする幅広い業種の現場に向けて、製造・検査・組立・包装など各工程の課題に応じたクリーン環境を構築します。
異物対策や品質維持はもちろん、半導体工場で求められる防爆仕様や耐薬品性にも対応可能です。

業種		具体的な対象工程・現場
半導体工業 AIデータセンター		集積回路、ウエハ洗浄・エッチング（強酸・フッ酸環境）、蒸着・研磨、レジスト塗布・現像（有機溶剤・防爆エリア）、露光、ウエハ目視検査、製造装置組み立て・調整、GPUラック組立、ストレージ組立、光通信機器製造、液冷ユニット組立
次世代エネルギー・ 蓄電池（GX）		リチウムイオン電池・全固体電池開発（極乾燥・ドライ環境）、電解液充填・材料調合（防爆・耐薬品エリア）、評価試験・充放電テスト、高純度材料粉体パック
電子部品		プリント基板実装（マウンター周辺）、ディスク、コンデンサ、小型リレー、高多層基板リフロー・はんだ付け、ウエハ自動搬送（AMR/AGV）ルート、精密金型メンテナンス・清掃
光学機器・フィルム・ 精密印刷		時計、ロケット・宇宙航空用部品、ミニチュアベアリング、超精密ギヤ・モーター組み立て、プラスチック射出成形ライン（取出機・ホッパー周辺）、微小チリ吸着防止（静電気・ESD対策）
時計・精密機器・ 樹脂成形		時計、ロケット・宇宙用部品、ミニチュアベアリング、超精密ギヤ・モーター組み立て、微小チリ吸着・静電気（ESD）対策必須エリア
自動車部品・金属加工		自動車用電子センサー・制御ユニット組み立て、高精度インジェクター（燃料噴射装置）製造、EVモーターコア製造、精密プレス・金属切削後の洗浄・検査工程
病院・医薬・化粧品		手術室、ICU、検査室、医薬品・化粧品製造（バルク調合・充填ライン・パッキング）、香料・ネイル等（アルコール防爆エリア）、バイオ研究室、細胞培養（CPC）施設、クリーンサンプリング室
食品・飲料工業		乳製品、醸造・アルコール、食肉・惣菜加工、洋菓子 coolingライン、無菌飲料ボトリング（充填機・キャッパー周辺）、空容器搬送ルート、原料調合（防爆対応）、包装・サンプリング室
研究・開発（R&D）・ 検査・分析		大学・企業R&D（研究開発）ラボ、公的検査・分析機関、材料分析・顕微鏡室、環境試験室、品質保証・精密サンプリングブース、受け入れ検査室

大型クリーンブースの施工

生産ラインに沿って設置するトンネル型、天井から吊り下げることで柱などの構造物を取り除いた天吊り型、
部分的に補強を入れることで天吊りなしの大型クリーンブースも施工できます。

高強度・美観・軽量のオリジナルフレーム

アルミフレームで組み上げるクリーンブースを当社が他社に先駆けて開発し、その後も長年にわたり技術力を磨いてきました。
安定性・耐久性に優れたオリジナル成型のアルミフレームを使用しています。

設計・開発から製造まで自社一貫生産

自社工場はいくつかの大型工作機械を保有し、豊富な経験とノウハウを持つ技術・製造スタッフが
高精度かつ付加価値の高い製品を製作しています。
自社一貫生産のため、工程ごとの細かいご要望や変更にも対応できます。

導入後の点検・測定・修理・交換をアフターフォロー

クリーンブースは導入後の維持管理（メンテナンス）が重要です。
時間経過とともにフィルターは目詰まりにより消耗し、風量低下による清浄度低下の原因になります。
製品設置・施工時に「清浄度測定」「風速測定」を行い、初期値を当社にて管理させていただきますが、
継続的にご相談いただきながら以下の点検を実施し、必要に応じてHEPA（ULPA）フィルターの交換作業を実施いたします。

 

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クリーン設備関連機器 製品一覧

クリーンブース

クリーンルーム・クリーン設備関連機器

業種別の課題解決提案

現場ごとの課題や使用環境に合わせて、最適なクリーンブースの構造・仕様をご提案します。
対象工程：ウエハ洗浄・エッチング（強酸・フッ酸環境）、レジスト塗布・現像、露光、ウエハ目視検査、製造装置組み立て・調整

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 腐食性ガスの腐食影響 強酸、フッ酸などの薬液から揮発する腐食性ガスにより、標準のアルミフレームや鋼板が早期に腐食・サビ・劣化を起こす。 ⚠️ 有機溶剤による引火危険 シンナー、レジスト液、IPAなどの揮発ガスがこもり、静電気火花や電気機器のスパークにより爆発を誘発する恐れ。 ⚠️ 微小塵埃によるショート 露光や目視検査時に、極微小チリが少しでも付着すると断線・ショート等の歩留まり悪化に直結。	🧬 耐薬品塩ビ＆SUS304構造 フレーム表面を耐薬品塩ビカバーで保護、または筐体全体にSUS304を標準採用し腐食を防止。 💥 防爆対応FFU＆LED照明 モータ部分に「安全増防爆」や「耐圧防爆」を採用した特殊ファンユニット。照明、スイッチ、配線も防爆施工。 🟡 イエロー遮光＆防静電シート 紫外線（500nm以下）をシャットアウトする特殊イエローシート（防静電タイプ）で周囲を密閉。	防爆クリーンブース

次世代エネルギー・蓄電池（GX）｜超低露点（ドライ）環境

対象工程：リチウムイオン電池・全固体電池開発、電解液充填、材料調合、評価試験・充放電テスト、高純度材料粉体パック等

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 水分（湿気）による急速な材料劣化 空気中のごくわずかな湿気が材料と反応。電池特性が著しく低下したり、ガス発生、最悪の場合発火を誘発するため、極限の乾燥環境維持が絶対条件。 ⚠️ 電解液ガスの引火リスクと他環境汚染 電解液の充填時に揮発する有毒ガスが充満。また材料調合時の微細粉体が舞い上がり、他工程へコンタミを引き起こす。	🌀 超低露点対応（ドライブース） 乾式デシカント除湿装置とシームレスに連携。露点マイナス40℃〜60℃以下を維持する断熱パネル・ブース設計。 🚪 ダブルシールド構造＆前室パスボックス 気密ゴムをアルミフレームの溝に二重埋め込み。人が出入りする際の外気侵入を「インターロック式前室」で完全ブロック。 🛡️ 陰圧式クリーンブース（粉塵飛散防止） 室内の気圧を「負圧（陰圧）」に制御することで、電解液の有毒揮発ガスや調合時の粉体材料がブース外部へ漏出するのをシャットアウト。	ドライブース

電子部品｜静電気対策＆FA自動化連動

対象工程：プリント基板実装（マウンター周辺）、ディスク、コンデンサ、小型リレー、高多層基板リフロー・はんだ付け、AGV自動搬送ルート、精密金型メンテ

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ はんだフラックス煙のこもり リフロー・はんだ付け工程から発生するフラックス煙や熱気がブースに滞留し、基板や装置にべたつきを生じさせる。 ⚠️ 静電気吸着・静電破壊 マウンターや搬送工程でワークが摩擦帯電。空中チリを掃除機のように引き寄せたり、微小回路を過放電により物理破壊（静電破壊）してしまう。 ⚠️ 自動搬送（AGV）時の気流破綻 搬送ルートをカーテンで遮断するとAGVが自律通行できず、カーテンを開放し放しにすると気流が破綻してクリーン度が下がる。	🔥 耐熱排気フード＆耐熱ダクト はんだ工程の直上に、吸引ファンを内蔵した耐熱性フードを配置。汚染煙を外部排気するプッシュプル構造。 ⚡ イオナイザー（除電器）内蔵FFU イオンエアーをクリーン気流とともに下方に吹き出し、ワークの静電気（帯電）を瞬時に完全中和して除電。 🤖 AGV連動高速シートシャッター AGVの自動アクセス信号を受け、わずか数秒で開閉する防静電高速シャッター。上部に強力エアーシャワーを配置して流入を完全ブロック。	AGV対応クリーンブース

光学機器・フィルム・精密印刷｜高精度フィルム・印刷対応

対象工程：光学レンズ・プリズム製造、光学フィルム・機能性フィルム加工、ディスプレイ・偏光板製造、精密印刷・コーティング、外観検査・異物検査

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 成形後の静電気によるチリ吸着 フィルムや光学プラスチックは成形・巻き取り時に強い静電気を帯びる。工場内の微小チリを引き寄せ、外観（レンズの異物や、フィルムの凹凸ピンホール）に致命的な欠陥を引き起こす。	⚡イオナイザー（除電器）の設置 クリーンブース内にイオナイザーを設置。空間をイオンで満たし、浮遊する微小チリやフィルムの静電気を根元から除電。 ⚡帯電防止シート 帯電を防止するシートで全面被覆。 ⚙️ 接地可能な導電性アルミフレーム 全フレームパーツおよびジョイント金具を接地可能な金属アース設計にし、帯電電荷を大地へ即放電。	ESD（静電気対策）クリーンブース

時計・精密機器・樹脂成形｜局所成形機クリーン

対象工程：時計・精密機器組み立て、精密ギヤ・ベアリング組立、精密樹脂成形、小型モーター組立、精密切削・研削加工、精密測定・品質検査

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 大型設備や金型の搬入・搬出に時間が必要 時計・精密機器・樹脂成形の現場では、設備の更新や金型・治具の交換時に開口部が狭く、クリーンブースの一部を分解しなければならないケースがあり、作業時間や停止時間の増加につながる。 ⚠️ 成形機周辺への異物・粉じんの侵入 樹脂成形工程では、成形機や金型周辺への異物・粉じんの侵入が、製品の外観不良や品質不良の原因となることがある。 ⚠️ 設備形状により既製品では対応しにくい 成形機や取出ロボット、ホッパーなど設備ごとに形状やレイアウトが異なるため、一般的なクリーンブースでは設置や作業性に支障をきたす場合がある。	🏭 成形機に合わせた専用オーダー設計 成形機・ホッパー・取出ロボットなどの設備形状に合わせ、開口部や高さを最適化したクリーンブースをご提案。 📐 設備貫通・開口部対応 配管・ダクト・搬送装置などの貫通部や開口位置を用途に合わせて設計し、設備との一体化を実現。 🚪 メンテナンス性を考慮した大開口構造 点検や金型交換、設備保守がしやすいよう、大型開口や開閉しやすい扉・パネル構造に対応します。	成形機対応クリーンブース

自動車部品・金属加工｜防ミスト＆クレーン対応

対象工程：自動車用電子センサー・制御ユニット組み立て、高精度インジェクター（燃料噴射装置）製造、EVモーターコア製造、精密プレス・金属切削後の洗浄・検査

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ オイルミストによるHEPA目詰まり 金属の切削や洗浄工程で発生する油煙（オイルミスト）が浮遊。ブースに吸引されると、高価なHEPAフィルターがすぐに油を吸って目詰まり（一発で破損・風量低下）してしまう。 ⚠️ 大型搬入時の物理的干渉 重量物（EV用大型モーター、金型、プレス部品等）をホイストクレーンで上部からブース内に落とし込んで搬入したいが、クリーンブースの固定式の天井が邪魔になってアクセスできない。	⚙️ 成形機直上専用スポットクリーン 成形機、ホッパー、製品取出アームの軌道領域だけをピンポイントで包み込むよう、架台と組み合わせて天井を高くとった局所高クリーン化ブース。 📐 メンテ性を考慮した分割構造 成形金型の入れ替え時にアプローチしやすいよう、手前側にワンタッチで巻き上げ可能な防静電シート・スリット仕様を適用。	オイルミスト対応・可動天井クリーンブース

病院・医薬・化粧品｜抗菌フラット＆陰圧防護

対象工程：調合・充填ライン・パッキング、病院手術室、ICU、香料・ネイル（アルコール防爆）、バイオ研究室、細胞培養（CPC）施設、サンプリング室

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ カビ・細菌の繁殖と消毒剥離リスク わずかなフレーム段差や継ぎ目、ゴムパッキン周辺にカビが繁殖。アルコール等の化学殺菌剤での拭き掃除を繰り返すと、ブース筐体のメッキや塗装が剥離して異物汚染の原因になる。 ⚠️ バイオ物質の室外流出危険 細胞培養やウイルスの取り扱い等バイオ研究室において、万が一空気中にウイルスや危険物質が漏れ出た場合、二次感染等の甚大な重大インシデント（バイオハザード）に直結する。	🧪 オールステンレス抗菌・フラット設計 フレームに耐薬品・抗菌性の極めて高いSUS304を採用。塵や水滴がたまらないR付きフラット形状、隙間をシリコンコーキング処理。	SUS抗菌クリーンブース

食品・飲料工業｜異物・毛髪の混入、衛生管理・HACCPへの対応

対象工程：原料調合、充填・包装、ボトリング、加熱・殺菌・冷却、異物検査・品質検査

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 高い湿度や蒸気による結露の発生 冷却ラインや飲料充填工程では、温度差や蒸気の影響でブース内に結露が発生しやすく、水滴による衛生管理や製品品質への影響が懸念される。 ⚠️ 異物・毛髪の混入リスク 作業者や資材の出入り、包装・充填工程において、外気や人由来の異物が製品へ混入するリスクがある。	🚪 前室（エアロック）・パスボックス 作業者や資材の出入りによる外気流入を抑制し、異物混入リスクを低減。 🧼 清掃しやすいフラット構造 凹凸の少ない構造と清掃しやすい内装により、衛生管理や日常のメンテナンス性向上に配慮。	前室・エアシャワー一体型クリーンブース

研究・開発（R&D）・検査・分析｜パスボックス付き

対象工程：大学・企業R&D（研究開発）ラボ、公的検査・分析機関、材料分析室、顕微鏡室、環境試験室、精密測定室、受け入れ検査室等

現場のお困りごと・課題	解決のポイント	構成イメージ（一例）
⚠️ 試作品・サンプルへの異物混入リスク 試作品や分析サンプルは微細な異物の影響を受けやすく、搬入・搬出や作業者の出入りによるコンタミネーションが、評価結果や品質判定に影響を及ぼすことがある。 ⚠️ 分析・検査時に外気や人の出入りによるコンタミが発生 分析機器や品質検査設備では、作業者の出入りやサンプルの受け渡しによって異物が持ち込まれ、試験環境の維持が難しくなることがある。	📦 パスボックスによるサンプル受け渡し 試作品や測定サンプルを人の出入りを最小限に抑えながら受け渡しでき、異物混入リスクを低減。 🔍 大型観察窓による視認性の向上 透明パネルにより、ブース外から内部の試験や作業状況を確認。教育・見学・工程確認などにも活用でき、不要な入室を減らすことでクリーン環境の維持にも貢献。 🔧 用途に応じたレイアウト・オプション提案 設置スペースや使用機器に合わせて、観察窓やパスボックス、出入口位置などを用途に応じてご提案。	観察窓・パスボックス付きクリーンブース

クリーンブースはクリーンルームとどう違う？

 

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フロー図