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レチクル保管庫・マスク保管庫 特注事例集!

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レチクル保管庫・マスク保管庫 特注事例集!

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レチクル保管庫・マスク保管庫 特注事例集!

レチクルケースや液晶セル・マスクなどをクリーンな環境で保管!


お客様のニーズに対応した製品づくりをいたします!

省スペースで大量保管が可能! ケース管理が容易に行えます!

  レチクル保管庫  

 レチクル保管庫R5-215 




●クリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。
●アルミフレーム仕様のオーダーメイドで、収納するレチクルケースの段数や列数を自由に選択できます。






●レチクルケースの形状・大きさに合わせたケース受けを製作します。


詳しい仕様はこちら






オールステンレスのクリーンルーム対応!





●レチクル保持具に耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンを使用しています。
●背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。
●レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。

【仕 様】
外 形 寸 法:W1140×D673×H1430
一 室 開 口:W510×H330
収 納 枚 数:60枚
フィルター:クリーンモジュールユニット1台
集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm
風         量:3.4/4.5m3/min
本         体:SUS304 ミガキ
前         面:帯電防止PET
保   持   具:超高分子量ポリエチレン

●その他レチクル保管庫 

  マスク保管庫  



オールステンレスのクリーンルーム対応!


●下部ローラーに耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンを使用しています。
●背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。

【仕 様】

外 形 寸 法:W950×D930×H1410
一 室 開 口:W392×H503
収 納 枚 数:40枚
フィルター:クリーンモジュールユニット1台
集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm
風         量:3.4/4.5m3/min
本         体:SUS304 ミガキ
前         面:帯電防止PET
下部ローラー:超高分子量ポリエチレン  上部ローラー:テフロン

 

液晶セルやマスクの保管に!

【仕 様】

外 形 寸 法:W1104×525×H1191
棚 板 枚 数:4枚
フィルター:クリーンモジュールユニット1台
集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm
風         量:3.4/4.5m3/min
      扉      :マグネットパッキン式
本         体:SUS304 ミガキ
前         面:帯電防止塩ビ
棚 板 材 質:スライド溝付 超高分子ポリエチレン
本 体 枠 材 質:アルミニウム アルマイト処理






スライドレール付

●その他マスク保管庫 

 

●ローラー参考事例

色々な形状のローラーがSUS304ベアリング入、超高分子量ポリエチレン、テフロンで製作できます。







レチクル保管庫・マスク保管庫に関するお問い合わせは下記よりお願いします。

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