特注デシケーターのご紹介
ウェハ保管用デシケーター
| 特 徴 | 8インチウェハを保管するための大型デシケーターです。 |
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パネルクリーンストッカー
| 特 徴 | 上部にクリーンモジュールユニットを搭載したパネルストッカーです。 庫内をクリーンに保つことができます。 |
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パネルストッカー
| 特 徴 | 棚板に超高分子ポリエチレンを使用することで塵埃の発生を防ぎます。 スライドレールにより棚板を出入れすることができます。 |
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カセット保管庫
| 特 徴 | 超重量のガラスカセットケースを保管します。 クリーンモジュールユニット搭載で庫内をクリーンに保ちます。 |
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ガス置換ステンレスデシケーター
| 特 徴 | ステンレス製で高気密性を重視したガス置換デシケーターです。 |
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N2ガス置換デシケーター
| 特 徴 | 棚板材質はSUS430、周囲パネルは帯電防止塩ビ板。 |
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5室独立ガス置換デシケーター
| 特 徴 | 5室すべてを独立したガス経路にすることで、扉開閉によるガス環境変化の影響を最小限にしました。 また、封入ガスの流量はセンサーで自動制御できます。 |
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紫外線カットデシケーター
| 特 徴 | イエローアクリルを使用したデシケーターです。 保管する商品を紫外線による劣化から防ぎます。 |
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加湿保管庫
| 特 徴 | 内部を加湿することができる保管庫です。 前面扉が2重構造になっており結露を防ぐ仕様です。 |
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ガス置換ステンレスデシケーター
バッテリー式クリーンワゴン
3連デシケーター
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