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エアシャワー
手動扉タイプ
型番:AS-D-2000-N AS-D-1500-N AS-S-1000-T-N AS-S-1000-L-N AS-T-1000-N AS-D-1000-N AS-S-1000-N
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エアシャワー
自動扉タイプ
型番:AS-D-1000-ASS-N AS-D-1000-DAD-N AS-D-1000-SAD-N
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インターロック付
型番:PB-800-N PB-600-N PB-500-N PB-400-N
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HEPAフィルターユニット
据置型
型番:FFU-50-N
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集塵式除電ブロー装置
型番:EGX-350Y
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集塵式除電エアーガン
型番:EG-1200
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クリーンロッカー
セイデンカーテンタイプ
型番:SCR-1500B
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クリーンロッカー
マグネットパッキン式
型番:CL-850/600
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8インチウェハ搬送ワゴン
型番:W-8
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ステンレスロッカー
型番:LO-454 LO-900
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ステンレススリッパ殺菌ロッカー
型番:UV-SL
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