8インチウェハ搬送ワゴン
8''ウェハ搬送ワゴン W-8【特許取得】
製品説明
●特許取得製品●シリコンゲル防振材とウレタンゴムキャスターで高い防振性のウェハ搬送ワゴンです。
●クリーンルームのグレーチング上でも安定した走行が可能です。
●N字型脚構造により未使用時は省スペースで収納できます。
下記紹介ページも詳しくご説明しております。
ご覧くださいませ。
◆ウェハ搬送ワゴン紹介ページへ◆
| タイプ | 8インチウェハ搬送ワゴン |
|---|---|
| 型番 | W-8 |
| 親カテゴリー | クリーン設備関連機器 |
| カテゴリー | クリーン保管庫・ワゴン |
| 容積 |
仕様
外形寸法：W640×D350×H1120mm（補助載置台取付時：W930）
本体材質：SUS304
本体重量：13kg
※保護用ボックスは商品に含まれません。
※6インチ・12インチ対応の搬送ワゴンも製作可能です。
本体材質：SUS304
本体重量：13kg
※保護用ボックスは商品に含まれません。
※6インチ・12インチ対応の搬送ワゴンも製作可能です。
シリコンゲル状防振材
搬送時の振動や衝撃がウェハに伝わりにくく、防振の働きをし安定的に搬送します。
緩衝器付キャスター
φ100帯電防止性ウレタンで衝撃・振動・発塵を1/10に低減。
カタログあり
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